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芯片制造中的化学机械抛光与平坦化技术
[ๆบๆ งๅป็ไธ่ฟ็จๅป็: ๅป็ๆๅก็ๆฐๅญๅ้ฉๅฝ]
ๆบๆ งๅป็ๆญฃๅจ้่ฟๆฐๅญๅๅๆบ่ฝๅๆๆฏ้ๅกๅป็ๆๅก็ๆจกๅผ,ๅฎ็ฐๅป็่ตๆบ็ไผๅ้ ็ฝฎ,่ฏ็ๆ็็ๆๅๅๆฃ่ ไฝ้ช็ๆนๅ.่ฟ็จๅป็ๆฏๆบๆ งๅป็็้่ฆ็ปๆ้จๅ,้่ฟ่ง้ข้ฎ่ฏ,่ฟ็จ็ๆตๅๅจ็บฟ่ฏๆญ,ไฝฟๆฃ่ ่ฝๅคๅจๅฎถไธญๆฅๅๅป็ๆๅก,ๅๅฐไบๅฐฑๅป็ๆถ้ดๅไบค้ๆๆฌ.่ฟ็จๅป็ๅจๆ ขๆง็ ็ฎก็ไธญๅๆฅไบ้่ฆไฝ็จ,ๆฃ่ ๅฏไปฅ้่ฟ่ฟ็จ็ๆต่ฎพๅคๅฐ็็ๆฐๆฎไผ ่พ็ปๅป็,ๅป็ๆ นๆฎๆฐๆฎ่ฟ่ก่ฟ็จ่ฐๆดๆฒป็ๆนๆก,ๆ้ซไบ็พ็ ็ฎก็็่ฟ็ปญๆงๅไพฟๅฉๆง.
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ๆบๆ งๅป้ขๅๅป็็ฉ่็ฝๆญฃๅจไผๅๅป้ข็่ฟ่ฅๅๆฃ่ ไฝ้ช.ๆบ่ฝๅบไฝ็ๆต,ๆฃ่ ๅฎไฝๅ่ตไบง่ฟฝ่ธช็ณป็ปๆ้ซไบๅป้ข็่ฟ่ฅๆ็ๅๅฎๅ จๆง.ๆบ่ฝ่ฏๆฟๅ่ชๅจๅ้ ่ฏ็ณป็ปๅๅฐไบ่ฏ็ฉ้่ฏฏๅ็ญๅพ ๆถ้ด.ๆบ่ฝๆๅท,็ผด่ดนๅๆฅๅๆฅ่ฏข็ณป็ป็ฎๅไบๆฃ่ ็ๅฐฑๅปๆต็จ,ๆ้ซไบๆปกๆๅบฆ.ๅป็ๆฐๆฎ็็ตๅญๅๅๅ ฑไบซๆฏๆไบๅป็ๆบๆ็ๅๅๅๆฃ่ ็่ฟ็ปญๆงๆค็,ๅๅฐไบ้ๅคๆฃๆฅๅไฟกๆฏ็ผบๅคฑ.
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