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่่ๆฑ ็จๅบๅฏไปฅๆจกๆๆ็ดขๅผๆ่่็่ฎฟ้ฎ่กไธบ๏ผๅฎๆ่ทๅ็ฎๆ ๅ ณ้ฎ่ฏๅจๆ็ดขๅผๆไธญ็ๆๅๆ ๅตใ้่ฟๆฏ่พไธๅๆถ้ดๆฎต็ๆๅๆฐๆฎ๏ผๅฏไปฅๆๆ็ๆต็ฝ็ซ็ๅ ณ้ฎ่ฏๆๅๅๅ๏ผๅๆถ่ฐๆดไผๅ็ญ็ฅใ
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芯片制造中的良率提升与缺陷管理
1. ไธบไปไนๅฎถๅบญ้่ฆ็ฉบๆฐๅๅๅจ๏ผ
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2. ๆ นๆฎๆฟ้ด้ข็งฏ้ๆฉๅ้็ๆบๅ
้่ดญ็ฉบๆฐๅๅๅจ็้ฆ่ฆๅ ็ด ๆฏๆ นๆฎไฝฟ็จๆฟ้ด็้ข็งฏ็กฎๅฎๆบๅจๅ็ใไธ่ฌๆฅ่ฏด๏ผๅๅๅจ็CADRๅผ๏ผๆดๅ็ฉบๆฐ่พๅบ็๏ผๅบ็บฆไธบๆฟ้ด้ข็งฏ็10-12ๅใไพๅฆ๏ผ20ๅนณๆน็ฑณ็ๆฟ้ด้่ฆ่ณๅฐ200-240mยณ/h็CADRๅผใไธปๅงๅฎคๅปบ่ฎฎไฝฟ็จไธญ็ญๅ็ๆบๅ๏ผๅฎขๅ ๆๅผๆพๅผ็ฉบ้ดๅ้่ฆๅคงๅ็ๆบๅใๅฆๆ้ข็ฎๅ ่ฎธ๏ผๅฏไปฅไธบไธๅๆฟ้ดๅๅซ้ ็ฝฎไธ็จๅๅๅจ๏ผๆ้ๆฉๅฏ็งปๅจๆบๅๅจไธๅๆฟ้ด่ฝฎๆขไฝฟ็จใ่ดญไนฐๅๅกๅฟ ๆต้ๆฟ้ดๅฎ้ ้ข็งฏๅนถๅ่ไบงๅ็้็จ้ข็งฏ่ฏดๆใ
3. ๆ ธๅฟๆๆฏ๏ผHEPAๆปค็ฝไธๆดปๆง็ญๆปค็ฝ
็ฎๅๅธ้ขไธไธปๆต็ฉบๆฐๅๅๅจ้็จๅคๅฑ่ฟๆปคๆๆฏใๆๆ ธๅฟ็ๆฏHEPA๏ผ้ซๆ็ฉบๆฐ้ข็ฒ็ฉ๏ผๆปค็ฝ๏ผ่ฝๅค่ฟๆปค99.97%ไปฅไธ็ดๅพไธบ0.3ๅพฎ็ฑณ็ๆฌๆตฎ้ข็ฒ๏ผๅ ๆฌPM2.5ใ่ฑ็ฒใๅฐ่จๅ็ป่็ญใๆดปๆง็ญๆปค็ฝๅไธ้จๅธ้็ฒ้ใ่ฏใTVOC็ญๆฐๆๆฑกๆ็ฉๅๅผๅณใไธไบ้ซ็ซฏๆบๅ่ฟ้ ๅค็ดซๅค็บฟUVๆ่ใ่ด็ฆปๅญๅ็ๅๅ ่งฆๅชๅ่งฃ็ญ้ๅ ๅ่ฝใ่ดญไนฐๆถๅบไผๅ ้ๆฉๅธฆๆ็ๆญฃHEPAๆปค็ฝๅ่ถณ้ๆดปๆง็ญ็ๅๅท๏ผไธค่ ็ปๅๆ่ฝๅ จ้ขๅๅ็ฉบๆฐใ
4. ๅช้ณๅ่ฝ่ไนๆฏๅ ณ้ฎ่้
็ฉบๆฐๅๅๅจ้ๅธธ้่ฆ้ฟๆถ้ด่ฟ่ก๏ผๅ ๆญคๅช้ณๆฐดๅนณๅ่ฝ่ๆ็่ณๅ ณ้่ฆใ็ฝๅคฉไฝฟ็จๆถๅช้ณๅจ50dBไปฅไธๅบๆฌไธๅฝฑๅๆญฃๅธธๆดปๅจ๏ผ่ๅค้ด็ก็ ๆจกๅผๅ้่ฆไฝไบ30dBๆ่ฝไฟ่ฏๅฎ้่้็็ก็ ็ฏๅขใ้่ดญๆถๆณจๆไบงๅๆ ็คบ็ๆๅฐๅๆๅคงๅช้ณๅผใ่ฝๆๆน้ข๏ผๅ ทๆๅ้ขๆๆฏ็ๆบๅๅฏๆ นๆฎ็ฉบๆฐ่ดจ้่ชๅจ่ฐ่ๅ็๏ผๆฏไผ ็ปๅฎ้ขๆบๅ่่ฝ30%-50%ใ้ฟๆไฝฟ็จไธๆฅ๏ผ่่ฝๆบๅ่ฝๆพ่่็็ต่ดนๅผๆฏ๏ผๆด็ปๆต็ฏไฟใ
5. ๅ็ไฟก่ชไธๅฎๅๆๅก
ๅธๅบไธๆ่ฎธๅค็ฅๅ็็ฉบๆฐๅๅๅจๅ็๏ผๅ ๆฌๅฐ็ฑณใ้ฃๅฉๆตฆใๅคๆฎใๆพไธใๆดๆฃฎๅIQAir็ญใไธๅๅ็็ไบงๅๅจๆๆฏ่ทฏ็บฟใ่ฎพ่ฎก้ฃๆ ผๅไปทๆ ผๅบ้ดไธๅๆ็น่ฒใ็ฅๅๅ็้ๅธธๅจๆปค็ฝ่ดจ้ใไบงๅ่็จๆงๅ็จๆทไฝ้ชไธๆดๆไฟ้ใ่ดญไนฐๆถๅบๅ ณๆณจไฟไฟฎๆ้ใๆปค็ฝๆดๆขๆๆฌใๅฎๅๆๅก็ฝ็ป่ฆ็่ๅด็ญๅ ็ด ใๅปบ่ฎฎ้ๆฉๆปค็ฝๅฎนๆ่ดญไนฐใๆดๆขๆๆฌๅ็็ไบงๅ๏ผๅ ไธบๆปค็ฝๆฏ้ฟๆไฝฟ็จไธญ็ๆ็ปญๆงๆๅ ฅใๅฎ็ฝๆณจๅไบงๅๅฏ่ทๅพๆดๅฎๅ็ๅฎๅๆฏๆใ
6. ๆปค็ฝๆดๆขไธๆฅๅธธ็ปดๆค
็ฉบๆฐๅๅๅจ็ๅๅๆๆ็ดๆฅไพ่ตไบๆปค็ฝ็็ถๆ๏ผๅ ๆญคๅฎๆ็ปดๆคๆไธบ้่ฆใๅๆๆปค็ฝๅปบ่ฎฎๆฏ1-2ไธชๆๆธ ๆดไธๆฌก๏ผๅฏ็จๅธๅฐๅจๆธ ็่กจ้ข็ฐๅฐๆ็จๆฐดๅฒๆดๆพๅนฒๅ้ๅคไฝฟ็จใHEPAๆปค็ฝๅๆดปๆง็ญๆปค็ฝไธ่ฝๆธ ๆด๏ผ้่ฆๅฎๆๆดๆข๏ผ้ๅธธ6-12ไธชๆๆดๆขไธๆฌก๏ผๅ ทไฝๅๅณไบไฝฟ็จ้ข็ๅ็ฉบๆฐ่ดจ้ใๅคๆฐๆบๅจไผๆๆดๆขๆ็คบ็ฏๆ็คบใๅๆถ๏ผไฟๆๆบๅจ่ฟ้ฃๅฃๅๅบ้ฃๅฃ้็ ๏ผๅจๅดไธ่ฆๅ ๆพ็ฉๅ๏ผๅฎๆๆฆๆญๆบ่บซ่กจ้ข๏ผ่ฟไบๆฅๅธธ็ปดๆคๆชๆฝ่ฝๆๆๅปถ้ฟ่ฎพๅคไฝฟ็จๅฏฟๅฝใ
7. ๆป็ปไธ่ดญไนฐๅปบ่ฎฎ
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